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產(chǎn)品簡(jiǎn)介：高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV是由九通道質(zhì)量流量控制器和高真空機(jī)組組成的CVD系統(tǒng)，其爐管直徑為4″，溫度可達(dá)1200℃，極限真空可達(dá)10-5torr，混氣系統(tǒng)可對(duì)1-9種氣體進(jìn)行精確的混合，然后導(dǎo)入管式爐內(nèi)部，可用來(lái)研究氣體環(huán)境對(duì)材料的影響

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV是由4″RTP爐、三通道混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成，可進(jìn)行半導(dǎo)體基片、太陽(yáng)能電池及其它樣品（尺寸可達(dá)3″）的退火，并采用10KW的紅外燈進(jìn)行加熱，升溫速度可達(dá)120℃/s，配有RS485接口，可以通過(guò)控制軟件在計(jì)算機(jī)上控制運(yùn)行并顯示溫度曲線(xiàn)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：高真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-80-C2HV是由單溫區(qū)管式爐、兩路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成，工作溫度可達(dá)1200℃，混氣系統(tǒng)可以對(duì)兩種氣體進(jìn)行精確的混氣，然后導(dǎo)入管式爐內(nèi)部，本系統(tǒng)極限真空度可達(dá)10-5torr

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：帶滑動(dòng)法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-5-III-F3LV可以快速加熱至1200℃，并通過(guò)調(diào)整三個(gè)溫區(qū)而建立不同梯度的熱場(chǎng)，可進(jìn)行退火、擴(kuò)散、在不同氣氛中燒結(jié)樣品及CVD等實(shí)驗(yàn)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：1700℃兩通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-4-C2HV是由單溫區(qū)管式爐、兩路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成，工作溫度可達(dá)1600℃，混氣系統(tǒng)可以對(duì)兩種氣體進(jìn)行精確的混氣，然后導(dǎo)入管式爐內(nèi)部，本系統(tǒng)極限真空度可達(dá)10-5torr

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)GSL-1700X-F3LV是由單溫區(qū)管式爐、三路浮子混氣系統(tǒng)和雙旋片式真空泵組成，工作溫度可達(dá)1700℃，混氣系統(tǒng)可以對(duì)三種氣體進(jìn)行精確的混氣，真空度可達(dá)5×10-2torr